材料本（běn）身所具有（yǒu）的性（xìng）能，必須通過（guò）正確的熱處理手段來達到。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們預想（xiǎng）的性能期望。根據（jù）塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手段主要（yào）是高（gāo）溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多（duō）次反複，通過這些不同的處理，達（dá）到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了（le）提高材料的剛性和耐磨損性，一般（bān）材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種（zhǒng）合金元素充分溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前（qián）半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真（zhēn）空條（tiáo）件下通過氮氣（qì）保護對工件（jiàn）進行加熱，既保（bǎo）證了工件（jiàn）的脫碳氧化，又防止了合（hé）金元素的蒸發。同時（shí）采（cǎi）用（yòng）200-500Kpa範圍內可調節氣（qì）體壓力（lì），對工件進行淬火冷卻，在（zài）保證工件充分淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處理與（yǔ）高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫，為了提高硬（yìng）度，保證尺（chǐ）寸穩定性，通常要（yào）進行深冷處理和高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定的回火（huǒ）馬氏體。我們將經過（guò）真空淬火後的工件，在（zài）室溫至100℃之間進（jìn）行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在（zài）不出爐的（de）情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因為進出爐而產生（shēng）變形或開（kāi）裂（liè）。同時由於采用氮氣保護也避免（miǎn）了工件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料，我們（men）通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至（zhì）230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采（cǎi）用了真空回火爐，在抽真空後，加入99.999%的（de）高純氮氣作為介質，通過吹（chuī）風方向的（de）改變來形成對流，保證了工件的溫度（dù）均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它（tā）輔助手段 
    在提高了淬火回火及深冷（lěng）處理質（zhì）量的同時，我們同時對（duì）工件的其它環（huán）節給予了充分（fèn）的重視（shì），過去認（rèn）為的熱處理工件潔淨度與處理無關的觀點已經被拋（pāo）棄，增加潔淨預處理。即將（jiāng）未入爐零件，通過真空清洗（xǐ）機進（jìn）行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工（gōng）件的各類加工油汙和（hé）碎屑，保證了入爐（lú）工件不會（huì）帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工件本身，從（cóng）微觀上保證了工件的組織潔淨度和處理質（zhì）量的完美性，提高了工件的使用壽命。

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